安裝條件

本設(shè)筐要求在海拔1000m以下，溫度25。。=15。（2,濕度55%Rh=10%Rh下使用。

1、 水：不需要

2、 電：AC220\'50Hz,必須有良好接地

3、 氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帝有寶塔接頭，可自斐改制成為雙卡套接頭）

4、 工作臺：尺寸1600mm*600mmx700mm,承重200kg以上

5、 通風(fēng)裝豈:—需要

主要特點

1、 雙層殼體，甑有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。

2、 爐體釆用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。

3、 內(nèi)爐膛表面涂有進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔浄度，同時延長使用壽命。

4、 采用三個獨立的PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

5、 已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

1、 電源：AC220V 50Hz60Hz 7KW

2、 石英管：外徑060mm，內(nèi)徑055mm，長1400mm

外徑080mm, 內(nèi)徑072mm，長 1400mm

3、 加熱元件：摻鑰鐵銘鋁合金電阻絲

4、 加熱區(qū)域：900mm （220mm-440mm^-220mm）

5、 工作溫度：高1200C，連續(xù)工作1100°C

6、 大升降溫速率:20°C min

/、控溫精度：±rc

—品規(guī)格

尺寸：1030mm X 430mm X 580mm

標(biāo)準(zhǔn)反件

1 石英管 1根

2 氧化鋁管堵 4個

可迭反件

1、 鉉說式法蘭

2、 數(shù)字真空計

3、 5英營堵